Точността на обработка на CNC металорежещите машини е подобрена от първоначалното ниво на телта (0,01 mm) до нивото на микрона (0,001 mm), а някои разновидности са достигнали около 0,05 μm. За микро-рязане и шлайфане на ултра-прецизни CNC машинни инструменти, точността може да бъде стабилно около 0,05 μm, а точността на формата може да достигне около 0,01 μm. Прецизността на специалната обработка, използваща светлина, електричество, химически и други източници на енергия може да достигне нанометрово ниво (0.001μm). Чрез оптимизирането на дизайна на структурата на машинния инструмент, ултра{11}}завършването и прецизното сглобяване на частите на машинния инструмент, използването на високо{12}}прецизен пълен-затворен-контрол на веригата и технология за динамично компенсиране на грешки като температура и вибрации, геометричната точност на обработката на машинния инструмент е подобрена и грешката във формата и позицията, грапавостта на повърхността и т.н. са намалени. , така че да влезем в ерата на суб-микронно и нано{18}}мащабно ултра{19}}завършване.
